Halbleiter – reparieren, herstellen oder durch DED-Laser härten

Ein regelmäßig ausgetauschtes Verschleißteil mit vorhersehbarem Verschleiß: Sotimeco kann die Kammerrandringe mittels DED-Laser wiederherstellen, anstatt ein neues Teil herzustellen.

Durch Erosion der Öffnungen beeinträchtigte Prozessgleichmäßigkeit: Sotimeco kann einen Showerhead mittels DED-Laserverfahren wiederaufbringen, vorbehaltlich einer präzisen Maßkontrolle.

Erosion durch Kontakt mit Plasma sowie fluor- oder chlorhaltigen Gasen: Sotimeco kann die exponierten Bereiche der Prozesskammern mittels DED-Laserverfahren unter strengen Qualifikationsanforderungen aufbringen.

Jede Oberflächenunregelmäßigkeit auf einem beheizbaren Wafer-Träger: Sotimeco kann die aktive Seite eines Suszeptors nach strenger Prüfung mittels DED-Laser nachbearbeiten.

Durch wiederholte Reibung abgenutzte Endeffektoren und Gelenkbereiche: Sotimeco kann die Wafer-Transferarme mittels DED-Laserverfahren wiederaufbringen, ohne dass dabei Probleme durch Plasmakorrosion auftreten.