Reparatur & Neufertigung | Zuverlässigkeitssteigerung & Verfestigung | Fortschrittliche Konstruktion

Produktion & Werkzeugbau

Die Gicam-Technologie ermöglicht die Aufarbeitung massiver und kostspieliger Werkzeuge mittels DED-Laser: Spritzguss-, Gießerei- und Glasformwerkzeuge, Stanzmatrizen, Schneidwerkzeuge sowie Bauteile für Halbleiteranlagen. Sie zielt ausschließlich auf den abgenutzten Bereich ab und ermöglicht die Herstellung normgerechter Kühlkanäle, um die Lebensdauer der Werkzeuge zu verlängern und ihre Leistung zu verbessern.
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Reparatur & Neufertigung

Suszeptoren und Sockel

Eine massive und kostspielige Platte mit abgenutzter Oberfläche: Die aktive Seite muss neu aufgeladen werden, wobei sichergestellt werden muss, dass die thermische Gleichmäßigkeit des Wafers nicht beeinträchtigt wird.
Ces plateaux assurant le maintien et le chauffage homogène du wafer pendant le procédé subissent une usure et une corrosion de surface au contact des gaz process et des cycles thermiques répétés, alors que la structure massive reste saine. Le DED peut recharger localement la face active avec un revêtement résistant à la corrosion et assurant une bonne conductivité thermique homogène, un point critique car toute hétérogénéité de surface impacte directement l'uniformité thermique du wafer et donc la qualité du dépôt.

Cette réparation présente un intérêt économique pour des pièces massives et coûteuses (céramique métallisée ou métal massif), mais nécessite une validation rigoureuse de l'absence d'impact sur l'uniformité thermique, un paramètre extrêmement sensible dans ce secteur.
Aktive Oberfläche wiederaufbereitet → Korrosionsbeständige und thermisch homogene Beschichtung.
Gründliche Validierung → Die thermische Gleichmäßigkeit des Wafers muss vor der Freigabe überprüft werden.
Suszeptoren und Sockel
Foto: Ixnayonthetimmay – Wikimedia Commons — Lizenz — Bild bearbeitet

Ce qu’il faut retenir …
La technologie Gicam peut recharger localement la face active d’un susceptor ou d’un pedestal avec un revêtement résistant à la corrosion et assurant une conductivité thermique homogène. Cette réparation, économiquement pertinente sur des pièces massives et coûteuses, exige une validation rigoureuse de l’absence d’impact sur l’uniformité thermique, paramètre extrêmement sensible dans ce secteur.

FAQ

Warum ist die Gleichmäßigkeit der Oberfläche bei einem Suszeptor so entscheidend?

Denn jede Unebenheit der Oberfläche beeinträchtigt die thermische Gleichmäßigkeit des Wafers und damit die Qualität der Abscheidung.

Ist diese Reparatur für alle Heizelemente geeignet?