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Produktion & Werkzeugbau

Die Gicam-Technologie ermöglicht die Aufarbeitung massiver und kostspieliger Werkzeuge mittels DED-Laser: Spritzguss-, Gießerei- und Glasformwerkzeuge, Stanzmatrizen, Schneidwerkzeuge sowie Bauteile für Halbleiteranlagen. Sie zielt ausschließlich auf den abgenutzten Bereich ab und ermöglicht die Herstellung normgerechter Kühlkanäle, um die Lebensdauer der Werkzeuge zu verlängern und ihre Leistung zu verbessern.
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Zuverlässigkeitssteigerung & Abhärtung

Prozesskammern und Auskleidungen

Des composants coûteux, fabriqués en petites séries : recharger les zones érodées par le plasma, sous des exigences de propreté très strictes.
Ces composants internes des équipements de gravure plasma ou de dépôt (PVD, CVD) subissent une érosion et une corrosion sévères au contact du plasma et des gaz réactifs (fluorés, chlorés), concentrées sur les zones directement exposées, alors que la structure globale de la chambre reste saine. Le DED permet de recharger ou de revêtir localement ces zones érodées avec des alliages résistants à la corrosion plasma (Inconel, alliages spéciaux), prolongeant la durée de vie de composants coûteux et fabriqués en petites séries spécifiques à chaque équipementier.

Cette réparation reste soumise à des exigences de propreté et de contrôle particulaire très strictes (absence de contamination métallique pour le procédé en salle blanche), ce qui nécessite une qualification poussée avant adoption. L'enjeu économique est réel vu le coût élevé de ces pièces usinées en petites séries et le délai de fabrication parfois long pour des équipementiers spécifiques.
Zones exposées rechargées → Alliages résistants à la corrosion plasma (Inconel, alliages spéciaux).
Qualification poussée → Propreté et contrôle particulaire validés avant adoption.
Prozesskammern und Auskleidungen
Photo : AlabamaUSA - Wikimedia Commons — Licence — image modifiée

Ce qu’il faut retenir …
La technologie Gicam peut recharger ou revêtir localement les zones érodées des chambres de gravure plasma et de dépôt (PVD, CVD) avec des alliages résistants à la corrosion plasma (Inconel, alliages spéciaux). Cette réparation est soumise à des exigences de propreté et de contrôle particulaire très strictes (absence de contamination métallique), qui imposent une qualification poussée avant adoption.

FAQ

Le DED est-il compatible avec les exigences de salle blanche ?

Il impose une qualification poussée : l'absence de contamination métallique et le contrôle particulaire doivent être validés avant toute adoption.

Pourquoi réparer une chambre plutôt que la remplacer ?