Reparatur & Neufertigung | Zuverlässigkeitssteigerung & Verfestigung | Fortschrittliche Konstruktion

Produktion & Werkzeugbau

Die Gicam-Technologie ermöglicht die Aufarbeitung massiver und kostspieliger Werkzeuge mittels DED-Laser: Spritzguss-, Gießerei- und Glasformwerkzeuge, Stanzmatrizen, Schneidwerkzeuge sowie Bauteile für Halbleiteranlagen. Sie zielt ausschließlich auf den abgenutzten Bereich ab und ermöglicht die Herstellung normgerechter Kühlkanäle, um die Lebensdauer der Werkzeuge zu verlängern und ihre Leistung zu verbessern.
Kontaktieren Sie uns
Zuverlässigkeitssteigerung & Abhärtung

Duschköpfe und Gasverteilplatten

Eine punktuelle Erosion, die die Prozessgleichmäßigkeit und den Ertrag der Chips beeinträchtigt: eine heikle Anwendung, die eine äußerst präzise Maßkontrolle erfordert.
Diese Lochplatten, die für eine gleichmäßige Verteilung der Prozessgase auf der Waferoberfläche sorgen, unterliegen einer lokalen Erosion an den Öffnungen und auf der dem Plasma ausgesetzten Seite – ein Defekt, der die Gleichmäßigkeit des Prozesses und damit die Ausbeute bei der Chipfertigung beeinträchtigt. Das DED-Verfahren kann die erodierten Bereiche lokal wiederherstellen oder eine widerstandsfähige Beschichtung auf der aktiven Seite neu aufbringen – eine Alternative zum vollständigen Austausch eines mit hoher geometrischer Präzision gefertigten Bauteils.

Diese Anwendung ist jedoch nach wie vor schwierig zu bewerten, da eine extrem hohe Ebenheit und Bohrgenauigkeit gewahrt bleiben müssen, wobei das DED-Verfahren ein Maß an Maßhaltigkeit nachweisen muss, das den aktuellen Präzisionsbearbeitungsverfahren entspricht. Der wirtschaftliche Nutzen besteht vor allem bei älteren Anlagen oder spezifischen Konfigurationen mit geringen Stückzahlen.
Aktive Fläche aufgearbeitet → Abgenutzte Bereiche oder widerstandsfähige Beschichtung, ohne die Platte auszutauschen.
Genauigkeit muss nachgewiesen werden → Ebenheit und extrem feine Bohrungen müssen mit dem Kunden abgestimmt werden.
Duschköpfe und Gasverteilplatten
Foto: Clleyagr – Wikimedia Commons — Lizenz — Bild bearbeitet

Das Wichtigste in Kürze …
Die Gicam-Technologie ermöglicht es, erodierte Bereiche eines „Showerheads“ lokal wiederherzustellen oder eine widerstandsfähige Beschichtung auf dessen aktiver Oberfläche aufzubringen. Diese Anwendung lässt sich nur schwer einordnen: Das DED-Verfahren muss ein Maßhaltigkeitsniveau aufweisen, das der heutigen Präzisionsbearbeitung entspricht, insbesondere hinsichtlich der Ebenheit und der Bohrgenauigkeit.

FAQ

Warum lässt sich diese Anwendung nur schwer einordnen?

Denn es gilt, eine äußerst hohe Ebenheit und Bohrgenauigkeit zu gewährleisten: Das DED muss dabei das Maß an Maßgenauigkeit erreichen, das bei der Präzisionsbearbeitung üblich ist.

Bei welchen Anlagen ist der wirtschaftliche Nutzen am größten?