Reparação e refabricação | Aumento da fiabilidade e reforço | Conceção avançada

Produção e Equipamento

A tecnologia Gicam permite a recarga, através do laser DED, de ferramentas pesadas e dispendiosas: moldes de injeção, de fundição e de vidro, matrizes de estampagem, ferramentas de corte e peças de equipamentos semicondutores. Esta tecnologia atua exclusivamente na zona desgastada e permite a criação de canais de arrefecimento adequados, prolongando a vida útil das ferramentas e melhorando o seu desempenho.
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Reparação e remanufatura

Sustentadores e pedestais

Uma placa maciça e dispendiosa, com a superfície desgastada: recarregar a face ativa, garantindo que não haja impacto na uniformidade térmica do wafer.
Ces plateaux assurant le maintien et le chauffage homogène du wafer pendant le procédé subissent une usure et une corrosion de surface au contact des gaz process et des cycles thermiques répétés, alors que la structure massive reste saine. Le DED peut recharger localement la face active avec un revêtement résistant à la corrosion et assurant une bonne conductivité thermique homogène, un point critique car toute hétérogénéité de surface impacte directement l'uniformité thermique du wafer et donc la qualité du dépôt.

Cette réparation présente un intérêt économique pour des pièces massives et coûteuses (céramique métallisée ou métal massif), mais nécessite une validation rigoureuse de l'absence d'impact sur l'uniformité thermique, un paramètre extrêmement sensible dans ce secteur.
Superfície ativa recarregada → Revestimento resistente à corrosão e termicamente homogéneo.
Validação rigorosa → É necessário verificar a uniformidade térmica da pastilha antes da sua adoção.
Sustentadores e pedestais
Foto: Ixnayonthetimmay - Wikimedia Commons — Licença — imagem alterada

Ce qu’il faut retenir …
La technologie Gicam peut recharger localement la face active d’un susceptor ou d’un pedestal avec un revêtement résistant à la corrosion et assurant une conductivité thermique homogène. Cette réparation, économiquement pertinente sur des pièces massives et coûteuses, exige une validation rigoureuse de l’absence d’impact sur l’uniformité thermique, paramètre extrêmement sensible dans ce secteur.

Perguntas frequentes

Por que razão a uniformidade da superfície é fundamental num susceptor?

Porque qualquer irregularidade na superfície altera a uniformidade térmica da pastilha e, consequentemente, a qualidade do depósito.

Esta reparação é adequada para todos os elementos de aquecimento?