Reparación y refabricación | Mejora de la fiabilidad y endurecimiento | Diseño avanzado

Producción y utillaje

La tecnología Gicam permite regenerar mediante láser DED herramientas pesadas y costosas: moldes de inyección, de fundición y de vidrio, matrices de embutición, herramientas de corte y piezas de equipos semiconductores. Se centra únicamente en la zona desgastada y permite crear canales de refrigeración adecuados, lo que prolonga la vida útil de las herramientas y mejora su rendimiento.
Ponte en contacto con nosotros
Reparación y refabricación

Susceptores y pedestales

Una placa maciza y costosa, con la superficie desgastada: recargar la cara activa, asegurándose de que no afecte a la uniformidad térmica de la oblea.
Ces plateaux assurant le maintien et le chauffage homogène du wafer pendant le procédé subissent une usure et une corrosion de surface au contact des gaz process et des cycles thermiques répétés, alors que la structure massive reste saine. Le DED peut recharger localement la face active avec un revêtement résistant à la corrosion et assurant une bonne conductivité thermique homogène, un point critique car toute hétérogénéité de surface impacte directement l'uniformité thermique du wafer et donc la qualité du dépôt.

Cette réparation présente un intérêt économique pour des pièces massives et coûteuses (céramique métallisée ou métal massif), mais nécessite une validation rigoureuse de l'absence d'impact sur l'uniformité thermique, un paramètre extrêmement sensible dans ce secteur.
Superficie activa recargada → Recubrimiento resistente a la corrosión y térmicamente homogéneo.
Validación rigurosa → Se debe comprobar la uniformidad térmica de la oblea antes de su aceptación.
Susceptores y pedestales
Foto: Ixnayonthetimmay - Wikimedia Commons — Licencia — imagen modificada

Ce qu’il faut retenir …
La technologie Gicam peut recharger localement la face active d’un susceptor ou d’un pedestal avec un revêtement résistant à la corrosion et assurant une conductivité thermique homogène. Cette réparation, économiquement pertinente sur des pièces massives et coûteuses, exige une validation rigoureuse de l’absence d’impact sur l’uniformité thermique, paramètre extrêmement sensible dans ce secteur.

Preguntas frecuentes

¿Por qué es fundamental la uniformidad de la superficie en un susceptor?

Porque cualquier irregularidad en la superficie altera la uniformidad térmica de la oblea y, por lo tanto, la calidad de la deposición.

¿Esta reparación es adecuada para todos los elementos calefactores?