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Nos solutions permettent de produire rapidement des pièces d’une grande résistance mécanique ou d’ajouter une couche avec un haut degré de résistance à l’usure en mariant différents matériaux
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Semi-conducteurs - réparer, fabriquer ou durcir par DED Laser

Showerheads et plaques de distribution de gaz

Showerheads et plaques de distribution de gaz

Uniformité du procédé dégradée par l'érosion des orifices : Sotimeco peut recharger par DED Laser un showerhead, sous réserve d'un contrôle dimensionnel de précision.
Anneaux de bord et pièces consommables de chambre

Anneaux de bord et pièces consommables de chambre

Un consommable remplacé régulièrement, à l'érosion prévisible : Sotimeco peut recharger par DED Laser les anneaux de bord de chambre plutôt que de refabriquer une pièce neuve.
Susceptors et pedestals

Susceptors et pedestals

Toute hétérogénéité de surface compte sur un support chauffant de wafer : Sotimeco peut recharger par DED Laser la face active d'un susceptor, après validation rigoureuse.
Bras et composants de manipulation de wafer

Bras et composants de manipulation de wafer

Des end-effectors et portées d'articulation usés par frottement répété : Sotimeco peut recharger par DED Laser les bras de transfert de wafer, loin des enjeux de corrosion plasma.
Chambres de process et liners

Chambres de process et liners

Érosion au contact du plasma et des gaz fluorés ou chlorés : Sotimeco peut recharger par DED Laser les zones exposées des chambres de process, sous qualification poussée.