Chambres de process et liners

Ces composants internes des équipements de gravure plasma ou de dépôt (PVD, CVD) subissent une érosion et une corrosion sévères au contact du plasma et des gaz réactifs (fluorés, chlorés), concentrées sur les zones directement exposées, alors que la structure globale de la chambre reste saine. Le DED permet de recharger ou de revêtir localement ces zones érodées avec des alliages résistants à la corrosion plasma (Inconel, alliages spéciaux), prolongeant la durée de vie de composants coûteux et fabriqués en petites séries spécifiques à chaque équipementier.

Cette réparation reste soumise à des exigences de propreté et de contrôle particulaire très strictes (absence de contamination métallique pour le procédé en salle blanche), ce qui nécessite une qualification poussée avant adoption. L'enjeu économique est réel vu le coût élevé de ces pièces usinées en petites séries et le délai de fabrication parfois long pour des équipementiers spécifiques.