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Production & Outillage

La technologie Gicam peut recharger par DED Laser des outillages massifs et coûteux : moules d'injection, de fonderie et de verrerie, matrices d'emboutissage, outils de découpe, pièces d'équipements semi-conducteurs. Elle cible la seule zone usée et permet des canaux de refroidissement conformes, pour prolonger la vie des outils et améliorer leur performance.
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Fiabilisation & durcissement

Showerheads et plaques de distribution de gaz

Une érosion localisée qui dégrade l'uniformité du procédé et le rendement des puces : une application délicate, qui exige un contrôle dimensionnel extrême.
Ces plaques perforées assurant une distribution homogène des gaz process sur la surface du wafer subissent une érosion localisée au niveau des orifices et de la face exposée au plasma, un défaut qui dégrade l'uniformité du procédé et donc le rendement de fabrication des puces. Le DED peut recharger localement les zones érodées ou refaire un revêtement résistant sur la face active, une alternative au remplacement complet d'une pièce usinée avec une grande précision géométrique.

Cette application reste cependant délicate à qualifier vu la nécessité de préserver une planéité et une précision de perçage extrêmement fines, où le DED doit démontrer un niveau de contrôle dimensionnel équivalent aux procédés d'usinage de précision actuels. L'intérêt économique existe surtout pour des équipements anciens ou des configurations spécifiques à faible volume.
Face active rechargée → Zones érodées ou revêtement résistant, sans remplacer la plaque.
Précision à démontrer → Planéité et perçage extrêmement fins à valider avec le client.
Showerheads et plaques de distribution de gaz
Photo : Clleyagr - Wikimedia Commons — Licence — image modifiée

Ce qu’il faut retenir …
La technologie Gicam peut recharger localement les zones érodées d’un showerhead ou refaire un revêtement résistant sur sa face active. Cette application reste délicate à qualifier : le DED doit démontrer un niveau de contrôle dimensionnel équivalent à l’usinage de précision actuel, notamment sur la planéité et la précision de perçage.

FAQ

Pourquoi cette application est-elle délicate à qualifier ?

Parce qu'il faut préserver une planéité et une précision de perçage extrêmement fines : le DED doit y atteindre le niveau de contrôle dimensionnel de l'usinage de précision.

Pour quels équipements l'intérêt économique est-il le plus fort ?